超精密自由曲面机床产品描述

• 适用于同轴非球面和螺旋表面车削加工，慢刀伺服（旋转式）进行自由曲面加工，栅格飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构加工；

• 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 – 全转速范围内主轴跳动小于12.5 纳米，C 轴反馈分辨率为 0.01 弧秒；

• 好的激光全息线性光栅尺，反馈分辨率 8 皮米；

• 标准加工口径 650mm，可定制更大加工口径；

• 优化空气隔震系统（可选配自动调平阻断式空气隔震系统），全约束式油静压导轨，X 轴行程 350mm，Z 轴行程300mm，Y 轴垂直行程 150mm；

技术参数